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半導体後工程のFOPLP向け露光装置を開発 ~世界最高水 …
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半導体後工程のFOPLP向け露光装置を開発 ~世界最高水 …
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https://www.screen.co.jp/spe/information/SPE170111
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半導体装置
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、直接描画露光装置として世界最高水準の2μm解像度※1を実現し、半導体後工程のFOPLP(Fan-Out Panel Level ...
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